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氧電極以鉑金（Pt）坐陰極，Ag/AgCl作陽極，電解液為0.1M氯化鉀
（KCl），用硅橡膠滲透膜作透氣膜。測量時，在陽極和陰極間加上0.68V
的極化電壓，氧通過滲透膜在陰極消耗，透過膜的氧量與水中溶解氧濃度
成正比，因而電極間的極限擴散電流與水中溶解氧濃度成正比，儀表檢測
此電流并經運算變換成氧濃度。同時熱敏電阻檢測溶液的溫度，并對氧濃
度進行溫度補償。
電極上的電極反應為：
陰極（Pt）O2＋2H2O＋4e=4OH-
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